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솔루션

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세정

Damage Free

Offering

  • 최소한의 연마 및 비 물리적 세정
  • 공정 부산물 선택적 세정 특화 기술
  • 코팅 박리 공정 모재 데미지 최소화
  • 초미세입자를 이용한 건식 세정 기술
  • Optical, Laser Microscope 통한 모재 상태 검증

Benefit

  • 부품 수명 연장
  • 공정 상 파티클 감소
  • 이트리아 코팅 표면거칠기 복원 기술로 공정 변수 최소화
  • 이트리아 코팅 케미컬 세정으로 아노다이징, 모재, 코팅 데미지 최소화

Application

  • LAM, TEL, AMAT, ULVAC, SEMES 등

Applicable Technology

기술명 기술 풀네임 기술 내용 소개자료
No-Dam.™ No-Dam.™ Water Jet 기술을 이용한 Coating 박리 기술
MPS™ Micro Powder Spray Pellet Size CO2 세정 기술
PSC™ Pure Surface Clean Snow Size CO2 세정 기술
PBC™ Pulse Beam Clean Pulse Beam 이용한 막질 제거 기술
PRC™ Physical Ra Control 물리적 방식으로 표면 Ra 개선 기술
Coating Decap.™ Coating Decapsulation Chemical을 이용한 Coating 박리 기술