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Solution

솔루션

CVD

Offering

  • Shower Head류 부품의 Nano Size의 표면 개질, 코팅 제공
  • 원자층 단위 Coating으로 Process에 따른 맞춤 Coating 두께 제공
  • 원자배열 및 표면 개질에 의한 초고밀도 Coating 층 제공

Benefit

  • Nano Size 코팅 및 표면 개질에 의한 Gas Flow 변화 최소화
  • 공정 Gas와 낮은 반응성 코팅을 통한 Hole 내부의 침적 및 식각에 의한 Size 변화 최소화
  • Shower Head의 Life Time을 개선하여 공정 비용

Application

  • AMAT, LAM, TEL, 원익 IPS, ASME

Applicable Technology

기술명 기술 풀네임 기술 내용 소개자료
ALD™ Atomic Layer Deposition 원자적층법에 의한 Ceramic Coating 기술
AlF™ Aluminium Fluoride Coating Plasma Implantation을 이용한 모재 표면 개질 기술