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Technical Glossary

기술용어

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A

  • Coating

    A-ZERON™
    Atomic Layer Deposition-ZERON
    원자단위로 적층해서 코팅 층을 형성하는 초 고밀도 코팅 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Al₂O₃ #APS #Plasma Etch

  • Coating

    AP
    Atmospheric Plasma
    Atmospheric Plasma Spray는 대기중에서 Plasma(원자, 이온, 전자로 구성되어 이온화되는 원자로는 주로 Ar을 사용)를 형성하는 기술로 APS Coating의 열원으로 사용함
    Plasma Etch 3-D type Product
    #APS #Coating #YAG #YF₃ #YOF #Y₂O₃

  • Coating

    APS Al₂O₃
    Atmospheric Plasma Spray Al₂O₃Coating
    APS Al₂O₃ powder를 대기압 플라즈마방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Parts
    #3-D Product #Al₂O₃ #APS #Plasma Etch

  • Coating

    Atomic layer
    Atomic Layer
    Atmoic Layer는 원자하나의 Size를 의미하며 ALD는 원자를 한층씩 쌓은 Coating을 의미함
    Plasma Etch 3-D type Product
    #ALD #Al₂O₃

B

  • Cleaning

    By-Product
    By-Product
    반도체 공정에서 사용되는 공정 Gas와 플라즈마 반응에 의한 생성되는 부산물로 제거가 세정의 주 목적
    All Product
    #All Process

C

  • Cleaning

    CAUS™
    Chemical Assisted Ultra Sonic
    Chemical과 Ultra Sonic 이용한 오염 막질 및 Particle 제거 기술
    Shower Head
    #By-Product Removal #Chemical #Hole Product #Ultra Sonic

  • Cleaning

    CDA
    Clean Dry Air
    유분·수분 분리부터 건조, 0.01μm 이상의 고형 입자를 제거한 매우 순수한 압축 공기
    All Product
    #All Process

  • Cleaning

    Chelate Chemical
    Chelate Chemical
    두 자리 이상의 리간드가 중심 금속 원자와 배위 결합 하여 고리 모양을 이룬 착화합물로 금속 이온 제거 적용 중
    All Product
    #TIC™

  • Cleaning

    CIS™
    Chemical Injection System
    펌프를 이용하여 Chemical 강제 주입 세정 기술
    Shower Head
    #By-Product Removal #Chemical #Fluid Flow #Hole Product

D

  • Cleaning

    D-LPC™
    Dynamic Liquid Particle Counter
    Recycle System을 이용한 실시간 Particle 측정 장비
    All Product
    #All Product #In-line #Liquid Particle Counter

  • Cleaning

    DELTA™
    DELTA Process
    Chemical을 이용한 표면 광택 개선 기술
    Al Product
    #Al Product #Chemical #Particle Removal #Surface Roughness

  • Cleaning

    DIS™
    Deionized Water Injection System
    펌프를 이용하여 Deionized Water 강제 주입 세정 기술
    Shower Head
    #By-Product Removal #Deionized Water #Fluid Flow #Hole Product

  • Cleaning

    DIW
    Deionized Water
    미네랄 및 금속 이온 등 이온들을 제거한 순수한 상태의 물
    All Product
    #All Process

E

  • Coating

    E-ARC™
    Enhanced-ARC Spray Coating
    방식으로 ARC Spray Gun의 Nozzle 및 Cap을 개선하여 Roughness 특성을 개선하는 ARC Spray Coating기술, PVD 공정에 주로 적용
    PVD 공정 부품에 적용
    #Al #ARC Spray #Cap #PVD공정

  • Coating

    E-SAF™
    E-SAC YOF(Enhanced Super Advanced Coating YOF)
    YOF Fine Powder를 자체 Slurry로 제조하여 Suspension Plasma Spray Coating 방식으로 고밀도 Cermaic Coating층을 형성하는 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Fine Powder #Plasma Etch #Slurry #SPS #YOF

  • Coating

    E-SAG™
    E-SAC YAG(Enhanced Super Advanced Coating YAG)
    YAG Fine Powder를 자체 Slurry로 제조하여 Suspension Plasma Spray Coating 방식으로 고밀도 Cermaic Coating층을 형성하는 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Fine Powder #Plasma Etch #Slurry #SPS #YAG

  • Coating

    E-SAY™
    E-SAC Y₂O₃(Enhanced Super Advanced Coating Y₂O₃)
    Y₂O₃ Fine Powder를 자체 Slurry로 제조하여 Suspension Plasma Spray Coating 방식으로 고밀도 Cermaic Coating층을 형성하는 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Fine Powder #Plasma Etch #Slurry #SPS #Y₂O₃

  • Coating

    Embossing
    Embossing
    Embossing은 Coating층의 표면적을 극대화 하기위해 Coating 전 특수한 형상을 제작하는 방법
    PVD 공정 3-D type Product
    #Aluminium #ARC Spray #PVD공정

  • Coating

    EP-ZERON™
    Electronic beam Physical Vapor Deposition-ZERON Coating
    E-Beam PVD 법에 의한 초고밀도 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch Plate type Product
    #E-beam evaporation #Plasma Etching #Plate type Product #PVD #YAG #YOF #YSO #Y₂O₃

H

  • Coating

    HEMI-2000T™
    HEMIsphere Enhanced ARC Spray Coating- Ra 2000 μinch
    ARC Spray Hemi Coating 으로 Ra 2000 μinch의 Embossing 형성 기술
    PVD 3-D type Product
    #3-D Product #ARC Spray #Hemisphere #Metal Coating #PVD공정

  • Coating

    HEMI-4000E™
    HEMIsphere Enhanced ARC Spray Coating-Ra 4000 μinch
    ARC Spray Hemi Coating 으로 Ra 4000 μinch의 Embossing 형성 기술
    PVD 3-D type Product
    #3-D Product #ARC Spray #Hemisphere #Metal Coating #PVD공정

  • Coating

    HEMI-600E™
    HEMIsphere Enhanced ARC Spray Coating- Ra 600 μinch
    ARC Spray Hemi Coating 으로 Ra 600 μinch의 Embossing 형성 기술
    PVD 3-D type Product
    #3-D Product #ARC Spray #Hemisphere #Metal Coating #PVD공정

  • Coating

    HEMI™
    HEMI ARC Coating
    Al wire를 ARC Spary 방식으로 Roughness 2000μinch 이상 형성하는 Metal Coating 기술
    PVD 3-D type Product
    #3-D Product #ARC Spray #Hemisphere #Metal Coating #PVD공정

  • Cleaning

    HPWS™
    High Pressure Water Spray
    고압 Deionized Water Spray
    All Product
    #All Product #Deionized Water #High Pressure #Particle Removal

  • Cleaning

    HTGS™
    High Temperature Gas Spray
    Hot Steam을 이용한 공정 부산물 제거 세정 기술
    Shower Head, SUS Product
    #All Product #By-Product Removal #Hot Gas

L

  • Cleaning

    LWTS
    Light Wave Treatment on Surface
    Ultra Violet 이용한 표면 개질 개선 기술
    APS, SAC Coating Product
    #Coating Treatment #Organic #Surface Treatment #Ultra Violet

M

  • Coating

    MAHA™
    MAHA
    3D Printing 방식으로 Metal Powder를 이용해 초고밀도 Metal Coating 기술
    PVD Ring type Product
    #3-D Printing #Free Shape #Metal Coating #PVD공정

  • Cleaning

    MBS™
    Micro Brush System
    ARC Coating 표면 세정 기술
    ARC Coating Product
    #ARC Coating Product #Particle Removal #Physical

  • Cleaning

    Micro Size bubble
    Micro Size bubble
    50μm 이하의 크기를 가지는 버블을 정의
    All Product
    #SBC™

  • Cleaning

    MPS™
    Micro Powder Spray
    Pellet Size CO₂ 세정 기술
    All Product
    #All Product #Dry Ice #Particle Removal

N

  • Cleaning

    No-Dam™
    No-Damage
    Water Jet Cleaning으로 Coating 박리 및 오염 막질 제거, Hole Size 변화 최소화 기술
    APS, SAC, ARC Coating Product
    #All Product #By-Product #Deionized Water #High Pressure

P

  • Coating

    P-ZERON
    Physical Vapor Deposition- ZERON Coating
    Sputtering에 의한 초고밀도 Ceramic Coating 기술, 5㎚ 급 Plasma Etching 설비에 적용
    Etch Plate type Product
    #Plasma Etch #Plate type Product #PVD #Sputtering

  • Cleaning

    Particle
    Particle
    무기물, 유기물, 금속 등 반도체 공정 상 결함 유발 요소
    All Product
    #All Process

  • Cleaning

    PBC™
    Pulse Beam Clean
    Laser 이용한 오염 막질 제거 기술
    APS, SAC Coating Product
    #By-Product Removal #Coating Product #Dry Clean #Laser

  • Cleaning

    PBR-2™
    Power Bubble Rinse-2
    High Power Air Bubble 이용하여 Deionized Water 강제 주입 세정 기술
    Shower Head
    #Bubble #Deionized Water #High Pressure #Hole Product #Particle Removal

  • Cleaning

    PBR™
    Power Bubble Rinse
    Air Bubble 이용하여 Deionized Water 강제 주입 세정 기술
    Shower Head
    #Bubble #Deionized Water #Hole Product #Particle Removal

  • Cleaning

    POC™
    Particle Oxide Combination
    Particle과 산화막을 결합하여 Particle 제거하는 기술
    Si, SiC Product
    #Chemical #Oxdiation #Particle Removal #Si Product #Strip

  • Cleaning

    PSC™
    Pure Surface Clean
    Snow Size CO₂ 세정 기술
    All Product
    #All Product #Dry Ice #Particle Removal

  • Coating

    PVD
    Physical Vapor Deposition
    #Coating

R

  • CoatingCleaning

    Roughness
    Roughness
    Roughness는 표면의 거칠기를 나타내는 것으로 Roughness는 보통 R로 표면되며, 최고 높이는 Rmax, 중심선 평균 거칠기를 Ra로 표현하며 주로 Ra 값을 사용한다.
    All Product
    #Cleaning #Coating

S

  • Cleaning

    S-LPC™
    Static Liquid Particle Counter
    Ultra Sonic을 이용한 Particle 측정 장비
    All Product
    #All Product #Liquid Particle Counter

  • Cleaning

    SBC™
    Super Bubble Clean
    Micro Size Bubble을 이용한 후처리 세정 기술
    All Product
    #All Product #Bubble #Deionized Water #Micro #Particle Removal

  • Coating

    Slurry
    Slurry
    고체와 액체의 혼합물 또는 미세한 고체입자가 물 속에 현탁된 현탁액으로서, SPS Coating의 경우 Yttrium 성분을 포함하는 Ceramic 고체와 물, 첨가제를 혼합하여 사용한다.
    #Coating #Suspension Plasma Spray

  • Cleaning

    SSC™
    Super Sonic Clean
    다주파 Ultra Sonic 세정 기술
    All Product
    #All Product #Deionized Water #Particle Removal #Ultra Sonic

T

  • Cleaning

    TIC™
    Tornado Ion Clean
    Chelate Chemical 이용한 표면 Metal 이온 제거 세정 기술
    All Product
    #All Product #Chemical #Ion Removal

U

  • Coating

    UHD-1
    UHD(Ultra High Density)-1
    유동화 처리된 Y₂O₃ Powder를 이용해 고밀도 Coating층을 형성하는 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Fine Powder #Plasma Etch

  • Coating

    UHD-2
    UHD(Ultra High Density) -2
    유동화 처리 Y₂O₃ Powder Size를 감소시켜 Coating 밀도를 향상시키는 Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #Fine Powder #Plasma Etch

  • Cleaning

    Ultra Pad
    Ultra Pad
    파티클을 유발하지 않도록 특수 제작된 Wiper
    All Product
    #UPW™

  • Cleaning

    UPW™
    Ultra Pad Wiping
    Ultra Pad를 이용하여 표면 Particle 제거 기술
    All Product
    #All Product #Particle Removal #Physical

  • Cleaning

    UV
    Ultra Violet
    가시광 파장보다 짧은 파장(10~400㎚)이며, 유기물 제거 등에 적용
    All Product
    #LWTS™

W

  • Cleaning

    Water Jet
    Water Jet
    1000bar 이상의 강력한 수압을 이용하여 Coating, By-Product 제거 목적에 사용
    All Product
    #No-Dam™

Y

  • Coating

    YAG-2
    YAG-2 Plasma Coating
    YAG Powder를 대기압 플라즈마 스프레이 방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product, hig power 공정
    #3-D Product #APS #Plasma Etch #YAG

  • Coating

    YSO
    YSO Plasma Coating
    YSO Powder 를 대기압 플라즈마 스프레이 방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product, 고온 공정
    #3-D parts #APS #Plasma Etch #YSO

  • Coating

    YX-1
    YX-1 Plasma Coating
    YF₃ Powder를 대기압 플라즈마 스프레이 방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #APS #Plasma Etch #YF₃

  • Coating

    YX-2
    YX-2 Plasma Coating
    YOF Powder를 대기압 플라즈마 스프레이 방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #APS #Plasma Etch #YOF

  • Coating

    Y₂O₃
    Y₂O₃ Plasma Coating
    Y₂O₃ Powder를 대기압 플라즈마방식(Atmospheric Plasma Spray)으로 코팅층을 형성하는 Ceramic Coating 기술
    Plasma Etch 3-D type Product
    #3-D Product #APS #Plasma Etch #Y₂O₃