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Solution

솔루션

Etch

Offering

  • 고품질 Recoating
  • 백색(투명)의 Yttrium 화합물 Coating
  • Etch 공정상의 Ceramic(Al2O3), Quartz에 비해 내식 특성이 우수한 Yttrium Base 코팅 제공
  • 반도체 집적도에 따른 맞춤형 Coating 제공

Benefit

  • 낮은 오염도 수준의 코팅을 통한 빠른 Back Up Time 특성을 개선
  • 부품의 Recoating을 통한 수명 연장
  • 낮은 Particle 특성으로 공정 수율 개선

Application

  • LAM, TEL, AMAT, SEMES 등

Applicable Technology

기술명 기술 풀네임 기술 내용 소개자료
APS Series Atmospheric Plasma Spray Series 대기압 플라즈마 용사법에 의한 Ceramic Coating기술
SAC™ Series Super Advanced Coating Series 서스펜션 플라즈마 용사법에 의한 Ceramic Coating기술
ZERON™ Series ZERON™ Series PVD, AD 법에 의한 진공 Ceramic Coating 기술