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Solution

解决方案

Offering

  • 保留物理/化学多方面清洗技术
  • 保留Metal, Quartz, Si, SiC等所有清洗材料Know-how
  • 保留产品Hole 内部独有的清洗技术
  • 通过CPDS,HIS, LPC的Particle定量的评价

Benefit

  • Ultra-High Purity Parts Validation​
  • 通过控制0.1μm 以下大的Particle 来减少 Defect
  • 减少无机/有机物Particle
  • 通过独有的清洗技术及检查方法延长Shower Head及高价位产品寿命

Application

  • LAM, TEL, AMAT, ULVAC, SEMES, CVD, Metal 设备

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
PBR™ Power Bubble Rinse 使用Air Bubble的Hole 强化注入的清洗技术
PBC™ Pulse Beam Clean 使用Pulse Beam的膜质去除技术
MPS™ Micro Powder Spray Pellet Size CO2 清洗技术
PSC™ Pure Surface Clean Snow Size CO2 清洗技术
SSC™ Super Sonic Clean 使用多重频率的超声波清洗技术
SBC™ Super Bubble Clean 使用Micro Size Bubble的清洗技术
POC™ Particle Oxide Combination 使用氧化膜-Particle结合的清洗技术
CIS™ / DIS™ Chemical Injection System /
Deionized-Water Injection System
用控制流体的方式使用Hole 强化注入的清洗技术
CAUS™ Chemical Assisted Ultra Sonic 用Chemical + Ultra Sonic加强Hole注入及提高化学反应的技术
HTGS™ High Temperature Gas Spray 使用高温Steam的清洗技术