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Solution

解决方案

Offering

  • 用干式清洗技术将水分最小化
  • 用氮Purge包装的方式,将水分最小化的技术
  • 用螯合物的离子清洗技术
  • 通过RGA的水分定量评价
  • 通过ChemTrace ICP-MS, IC的离子定量分析

Benefit

  • Ultra Clean Part’s
  • 减少污染水平,缩短设备运转时间
  • 通过优秀的金属离子管理,抑制工程的变动

Application

  • LAM, TEL, AMAT, ULVAC, SEMES 等

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
PBC™ Pulse Beam Clean 使用Pulse Beam的膜质去除技术
NPP™ Nitrogen Purge Package 使用氮Purge的包装技术
TIC™ Tornado Ion Clean 使用螯合物的去除金属阳离子的技术
MPS™ Micro Powder Spray Pellt Size CO2 清洗技术
PSC™ Pure Surface Clean Snow Size CO2 清洗技术