Out-Gassing / Metallic Ion Free
Out-Gassing / Metallic Ion Free
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Offering
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- 用干式清洗技术将水分最小化
- 用氮Purge包装的方式，将水分最小化的技术
- 用螯合物的离子清洗技术
- 通过RGA的水分定量评价
- 通过ChemTrace ICP-MS, IC的离子定量分析
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Benefit
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- Ultra Clean Part’s
- 减少污染水平，缩短设备运转时间
- 通过优秀的金属离子管理，抑制工程的变动
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Application
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- LAM, TEL, AMAT, ULVAC, SEMES 等
| 技术名称 |
技术全程 |
技术内容 |
介绍资料 |
| PBC™ |
Pulse Beam Clean |
使用Pulse Beam去除污染物的技术 |
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| NPP™ |
Nitrogen Purge Package |
使用氮Purge的包装技术 |
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| TIC™ |
Tornado Ion Clean |
使用螯合物的金属阳离子去除技术 |
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| MPS™ |
Micro Powder Spray |
Pellt Size CO2 清洗技术 |
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| PSC™ |
Pure Surface Clean |
Snow Size CO2 清洗技术 |
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