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Solution

解决方案

PVD

Offering

  • 提供针对工厂环境的Metal Coating
  • 提供Ultra High Hardness Metal Coating
  • 以零部件的高粘度特性,将Coating的副产物最小化
  • 通过形状控制Coating,提供最大化的Coating表面积

Benefit

  • 以Ultra High Density Coating的特性,减少out gassing的Back up time
  • 根据表面最大化技术的Depo 膜质
  • 用较低的Particle特性,改善工程的收益率
  • 通过将零部件的Damage最小化,延长Life time

Application

  • AMAT, ULVAC, CANON 等

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
Al ARC® Coating Al ARC® Coating 使用Al Wire的ARC喷涂方式的Metal Coating 技术
Hemi® Series Coating Hemi® Series Coating 使用Al Wire的ARC喷涂方式的Metal Coating 技术
Stealth™ Series Coating Stealth™ Series Coating 使用Al Wire+α的ARC喷涂方式的高硬度Metal Coating 技术
MAHA™ Coating MAHA™ Coating 使用Al Wire+α的ARC喷涂方式的高硬度Metal Coating 技术