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Solution

解决方案

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清洗

Damage Free

Offering

  • 最小限度的研磨及非物理清洗
  • 工程副产物的选择性清洗、特殊化技术
  • 将涂层、分离、工程母材的伤害最小化
  • 使用超小粒子的干式清洗技术
  • 通过Optical, Laser Microscope检查母材状态

Benefit

  • 延长零部件使用寿命
  • 工程的Particle
  • 用Y2O3涂层表面粗糙度复原术，将工程的变数最小化
  • 用Y2O3涂层的化学清洗，将阳极氧化、母材、涂层的伤害最小化

Application

  • LAM, TEL. AMAT, ULVAC, SEMES 等

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
No-Dam.™ No-Dam.™ 使用Water Jet技术的Coating 分离技术
MPS™ Micro Powder Spray Pellet Size CO2 清洗技术
PSC™ Pure Surface Clean Snow Size CO2 清洗技术
PBC™ Pulse Beam Clean 使用Pulse Beam去除污染物的技术
PRC™ Physical Ra Control 表面粗糙度改进的物理性技术
Coating Decap.™ Coating Decapsulation 利用Chemical的 Coating 剥离技术