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Solution

解决方案

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涂层

Etch

Offering

  • 高品质的Re-Coating
  • 白色(透明)的 Yttrium 化合物 Coating
  • 提供比Etch工程上Ceramic(Al2O3), Quartz 有更优秀耐腐蚀性的Yttrium base涂层
  • 提供根据半导体集成度的针对性Coating

Benefit

  • 改善了即使是低污染，也可以通过涂层，快速改善Back up time的特性
  • 通过给零部件Re-Coating延长使用寿命
  • 用较低的Particle特性，改善工程的收益率

Application

  • LAM, TEL, AMAT, SEMES 等

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
APS Series Atmospheric Plasma Spray Series 通过大气压等离子喷涂方式的Ceramic Coating 技术
SAC™ Series Super Advanced Coating Series 使用悬浮液等离子喷涂的陶瓷表面涂层技术
ZERON™ Series ZERON™ Series 使用PVD和AD方法的真空陶瓷表面涂层技术
CUBE™ Series Cube Coating 用在石墨表面上的碳化硅涂层技术